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클린룸

개요

클린룸(Clean Room)은 정밀전자부품인 반도체소자나 직접회로등을 제조하기 위해 미세먼지를 제거한 청정실로 온도, 습도, 압력, 조도, 소음, 진동, 자장등 환경적 요소를 고려하여 설계 및 구축 되었습니다.

세부현황

01

규모

Utility 시설 포함하여 약 200평(전용공간 100평)

02

청정도(Class)

1,000 class로 유지·관리

03

연간 유지·관리 및 운영비

(‘20년 기준) 약 270백만원 (전기세 100백만원 포함)

청정실 등급 기준 : 가로×세로×높이 각각 1m 채적(m3)내 공기중에 포함된 미세먼지수(0.5㎛이상되는 먼지)
대도시의 경우 1,000,000(백만) class, 공장지역 10,000,000(천만) class / 한라산 정상 10,000(만) class, 성층권 상층이상 1,000(천) class

운영현황

직업능력개발훈련교사, 직업계고 교사, 학부·대학원생, 산업체 재직자를 대상으로 반도체 및 솔라셀(태양전지) 제조공정 및 장비 전반에 대한 교육을 운영

01

반도체 재료, 소자, 전공정(Fab공정), 후공정(Test, Package 공정) 및 솔라셀 제조공정 및 장비 등 모든 분야에 대한 교육 운영

  • 트랜지스터(MOSFET), 다이오드(Diode)등의 반도체소자 및 태양전지(Solar Cell) 등을 직접 제작 실습 및 관련 공정연구
02

기업연구 및 제품개발을 위해 고가의 공정 및 측정 장비가 필요한 산업체, 연구소, 대학을 대상으로 Fab Service(공정장비 사용지원 및 공동연구) 수행

03

연간 활용율 : (‘15년 기준) 약 246일 약 70-80% 활용

신청 ·사용절차 및 담당자

  1. Step 01이용신청서 작성 및 온라인 접수
  2. Step 02예약처리 및 계약서 & 견적서 작성
  3. Step 03설비 및 장비 사용
  4. Step 04거래 내역서 작성 및 확인
  5. Step 05사용료 납부
  6. Step 06수입처리 및 인센티브 지급(외부 FAB서비스인 경우)

주요장비

  • 양산용 8inch PECVD(P-5000), PVD(Endura-5500) System 양산용 8inch PECVD(P-5000), PVD(Endura-5500) System
  • 6inch Solar Cell Turn-Key System 6inch Solar Cell Turn-Key System
  • Wafer Measurement System Wafer Measurement System

페이지 담당정보

  • 담당부서신기술교육개발센터
  • 연락처041-521-8000
최종수정일 : 2020-01-28